技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及檢測設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種高效過濾器檢測機(jī)的三維移動裝置。
背景技術(shù)
高效過濾器(High efficiency particulate air Filter，簡稱HEPA)具有較高的過濾效率，可以對0.5μm以下的顆?；覊m及各種懸浮物進(jìn)行過濾，現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于光學(xué)電子、生物醫(yī)藥以及PCB印刷等無塵凈化車間。
為了保證高效過濾器的過濾效果，高效過濾器在出廠時都需要采用高效過濾器檢測機(jī)對其進(jìn)行嚴(yán)格的檢漏，其中，常見的高效過濾器的檢漏方法主要包括納焰法、油物法、以及DOP法等，而這些檢漏方法在實(shí)際操作過程中都需要將待檢測的高效過濾器安置于出氣平臺上，以使含有特性顆粒的氣體可以通過出氣平臺進(jìn)入高效過濾器，從而通過檢測高效過濾器上方的氣體以對高效過濾器進(jìn)行檢漏。
上述高效過濾器檢測機(jī)的檢測過程中，通常是通過固定于機(jī)架的頂部的三維移動裝置以帶動氣體檢測探頭在高效過濾器的上方移動，實(shí)現(xiàn)對高效過濾器上方的不同位置(即X軸、Y軸和Z軸方向)的氣體的檢測。
一般的，該三維移動裝置分別是由與X軸、Y軸和Z軸方向?qū)?yīng)且依次聯(lián)動的三個絲桿傳動機(jī)構(gòu)構(gòu)成，其中，作為最先移動的絲桿傳動機(jī)構(gòu)受其他兩個絲桿傳動機(jī)構(gòu)的影響，在移動過程中易出現(xiàn)晃動，使該三維移動裝置無法平穩(wěn)地移動氣體檢測探頭，從而影響檢測結(jié)果。
實(shí)用新型內(nèi)容
為了解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種高效過濾器檢測機(jī)的三維移動裝置，可以平穩(wěn)地移動氣體檢測探頭，從而提高檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性。
一種高效過濾器檢測機(jī)的三維移動裝置，包括：連接板、X軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)、Y軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)、Z軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)以及分設(shè)于所述連接板兩端的兩個導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)，所述導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)包括直線導(dǎo)軌以及與所述直線導(dǎo)軌滑動配合的滑塊，所述滑塊的一側(cè)設(shè)有與所述直線導(dǎo)軌卡接配合的凹口，所述滑塊的另一側(cè)以可拆卸方式固定于所述連接板上；所述X軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)包括X軸固定座、固定于所述X軸固定座上的X軸電機(jī)、與所述X軸電機(jī)的輸出軸連接的X軸絲桿；所述連接板的中部設(shè)有與所述X軸絲桿相配合的螺母，兩個所述直線導(dǎo)軌平行設(shè)置于所述X軸絲桿的兩側(cè)；所述Y軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)包括Y軸固定座、固定于所述Y軸固定座上的Y軸電機(jī)、與所述Y軸電機(jī)的輸出軸連接的Y軸絲桿以及與所述Y軸絲桿螺紋連接的Y軸滑塊，所述連接板上還設(shè)有與所述Y軸固定座連接的扣接件；所述Z軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)固定于所述Y軸滑塊上，所述Z軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)的輸出端與外部的氣體檢測探頭連接。
作為優(yōu)選方案，所述直線導(dǎo)軌呈板狀，且其與所述凹口的端部相接觸的兩側(cè)面內(nèi)凹形成弧形面，所述凹口的端部被配置為與所述弧形面接觸配合的倒扣部。
作為優(yōu)選方案，所述導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)還包括基板以及與所述直線導(dǎo)軌的兩端分別對應(yīng)的支座，所述支座固定于所述基板上。
作為優(yōu)選方案，所述X軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)還包括兩個固定于所述X 軸固定座上且分設(shè)于所述X軸絲桿兩端的X軸絲桿支撐座。
作為優(yōu)選方案，所述Y軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)還包括兩個固定于所述Y 軸固定座上且分設(shè)于所述Y軸絲桿兩端的Y軸絲桿支撐座。
作為優(yōu)選方案，所述扣接件的數(shù)量為兩個，且對稱設(shè)置于所述螺母的兩側(cè)。
作為優(yōu)選方案，所述扣接件包括相背設(shè)置的兩個彈性倒扣，所述 Y軸固定座上設(shè)有與所述彈性倒扣扣接配合的開口。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果在于：
本實(shí)用新型通過設(shè)置連接板并在連接板的中部設(shè)置與X軸絲桿相配合的螺母，以便于形成絲桿螺母傳動副；與此同時，還在連接板的兩端設(shè)置導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)，并使導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)具有與X軸絲桿平行設(shè)置的直線導(dǎo)軌，而連接板與直線導(dǎo)軌之間通過與直線導(dǎo)軌滑動配合的滑塊連接，如此，可以對連接板的兩端形成平衡的牽引，從而避免連接板在沿X軸絲桿移動的過程中因其懸掛有Y軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)和Z軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)而造成的晃動，從而可以使得所述三維移動裝置在工作時，可以平穩(wěn)地移動氣體檢測探頭，從而提高檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性。
附圖說明
圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例中高效過濾器檢測機(jī)的三維移動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例中高效過濾器檢測機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
其中，100、三維移動裝置；200、機(jī)架；300、出氣平臺；1、連接板；2、X軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)；21、X軸固定座；22、X軸電機(jī)；23、 X軸絲桿；24、X軸絲桿支撐座；3、Y軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)；31、Y軸固定座；32、Y軸電機(jī)；33、Y軸絲桿；34、Y軸絲桿支撐座；4、Z軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)；5、導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)；51、直線導(dǎo)軌；52、滑塊；53、基板； 54、支座；6、扣接件；61、彈性倒扣；7、螺母；8、氣體檢測探頭。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型，但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。
圖2為本實(shí)施例中高效過濾器檢測機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖，該檢測機(jī)在檢測時，通常會將待檢測的高效過濾器壓緊于出氣平臺300的上表面，而氣體檢測探頭8會通過固定于機(jī)架200的頂部的三維移動裝置100 對所述高效過濾器的上方不同位置的氣體進(jìn)行檢測。
如圖1所示，該三維移動裝置100包括沿X軸方向設(shè)置的X軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)2、沿Y軸方向設(shè)置的Y軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)3以及沿Z 軸方向設(shè)置的Z軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)4，其中，在移動所述氣體檢測探頭 8到達(dá)指定位置的過程中，是依次通過所述X軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)2、所述Y軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)3以及所述Z軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)4的聯(lián)動來實(shí)現(xiàn)的。而所述Z軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)4是固定于所述Y軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)3 后一起懸掛于所述X軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)2上的。
具體的，所述X軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)2包括X軸固定座21、固定于所述X軸固定座21上的X軸電機(jī)22、與所述X軸電機(jī)22驅(qū)動連接的X軸絲桿23；所述Y軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)3包括Y軸固定座31、固定于所述Y軸固定座31上的Y軸電機(jī)32、與所述Y軸電機(jī)32的輸出軸連接的Y軸絲桿33以及與所述Y軸絲桿33螺紋連接的Y軸滑塊52；而所述Z軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)4固定于所述Y軸滑塊52上，所述 Z軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)4的輸出端與所述氣體檢測探頭8連接。
本實(shí)施例中還設(shè)有連接板1和分設(shè)于所述連接板1兩端的兩個導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)5。其中，所述連接板1的中部設(shè)有與所述X軸絲桿23相配合的螺母7，以形成絲桿螺母7傳動副，而所述Y軸固定座31通過設(shè)于所述連接板1上的扣接件6與所述連接板1固定。
每個所述導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)5均包括直線導(dǎo)軌51以及與所述直線導(dǎo)軌51 滑動配合的滑塊52，其中，所述滑塊52的一側(cè)設(shè)有與所述直線導(dǎo)軌 51卡接配合的凹口，所述滑塊52的另一側(cè)以可拆卸方式(例如螺紋連接方式)固定于所述連接板1上。而兩個所述直線導(dǎo)軌51平行設(shè)置于所述X軸絲桿23的兩側(cè)，以便于所述連接板1移動的過程中對所述連接板1形成平衡的牽引力。如此，在連接板1沿X軸絲桿23 移動的過程中可以避免因Y軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)3和Z軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)4 而造成的晃動，從而平穩(wěn)地移動氣體檢測探頭8，提高檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性。
為了便于裝配所述滑塊52與所述直線導(dǎo)軌51，示例性的，可以將所述直線導(dǎo)軌51設(shè)置為板狀，且使其與所述凹口的端部相接觸的兩側(cè)面內(nèi)凹形成弧形面，而將所述凹口的端部配置為與所述弧形面接觸配合的倒扣部。
當(dāng)然，還可以在所述導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)5中增設(shè)基板53以及與所述直線導(dǎo)軌51的兩端分別對應(yīng)的支座54，并將所述支座54固定于所述基板53上，以保證所述直線導(dǎo)軌51的穩(wěn)定性。而所述X軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)2可以兩個固定于所述X軸固定座21上且分設(shè)于所述X軸絲桿 23兩端的X軸絲桿支撐座24。所述Y軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)3中可以增設(shè)兩個固定于所述Y軸固定座31上且分設(shè)于所述Y軸絲桿33兩端的 Y軸絲桿支撐座34。
為了降低Y軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)3在X軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)2移動過程中其本身的晃動，示例性的，還可以將所述扣接件6的數(shù)量設(shè)置為兩個，且將其對稱設(shè)置于所述螺母7的兩側(cè)，以將所述Y軸固定座31 穩(wěn)定地固定于所述連接板1上。而所述Y軸固定座31與所述連接板 1之間可以通過扣接的方式裝配，例如，可以使所述扣接件6具有相背設(shè)置的兩個彈性倒扣61，而所述Y軸固定座31上設(shè)有與所述彈性倒扣61扣接配合的開口，從而便于所述Y軸絲桿傳動機(jī)構(gòu)3與所述連接板1之間的裝拆維護(hù)。
以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。